0 товаров
РУХСЕРВОМОТОР
EN

5. Координатная система 2D-270-240-0-E

Применение

Координатная система 2D-270-240-0-E, построенная на базе линейных двигателей с аэростатическими подшипниками, обеспечивает исключительную точность, повторяемость и плавность хода, необходимые для самых требовательных процессов в микроэлектронике. Нанометровая точность для передовых задач микроэлектроники

КЛЮЧЕВЫЕ ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ В ЧИСТЫХ ПОМЕЩЕНИЯХ:

  • Генераторы изображений
  • Фотолитография
  • Проверка фотошаблонов и пластин
  • Зондовый контроль
  • Монтаж кристаллов
  • Присоединение выводов

Конструкция

Цифровое регулирование положения, скорости, тока с перекрестными портальными связями.

 

  • Субмикронная плоскостность и прямолинейность за счет базы и направляющих из гранита.
  • Преднатянутые графитовые аэростатические подшипники – микронный зазор, нет сухого трения.
  • Нанометровая точность, повторяемость, разрешение прямого привода с оптическим энкодером.
  • Трехфазные безжелезные линейные синхронные двигатели с редкоземельными магнитами.
  • Прямой безредукторный безлюфтовой линейный привод, отсутствие зубцового усилия.
  • Беззвеньевые кабелеукладчики без продуктов износа, пригодные для чистых помещений.
  • Синусный оптический энкодер, высокая жесткость и полоса пропускания.
  • Высокая точность, повторяемость и разрешение, гладкий ход на малых скоростях.
  • Полностью цифровой контроллер собственной разработки, программная коррекция погрешностей.

 

УПРАВЛЕНИЕ:

Полностью цифровой контроллер реального времени на сигнальном процессоре, цикл 100мкс.

Гальванически развязанные цифровые 24В и аналоговые биполярные 10В входы и выходы.

Контурное управление по сети Ethernet с интерфейсом G-код по стандарту ISO 6983-1.

Арктангенсная 10000-кратная интерполяция сигналов синус-косинусного оптического отражательного энкодера с коррекцией амплитуд, смещений, фазового сдвига и адаптивной фильтрацией.

Цифровое регулирование положения, скорости, тока с перекрестными портальными связями.

Коррекция погрешностей позиционирования по двухмерному массиву лазерного интерферометра

СПЕЦИФИКАЦИЯ:

Параметр Ед Ось X Ось Y
Перемещение мм 270 240
Скорость мм/с 1300 1300
Подвижная масса кг 8 4
Ускорение м/с2 20 20
Точность с коррекцией мкм 0,1 0,1
Точность без коррекции мкм 3 3
Повторяемость мкм 0,02 0,02
Период энкодера 1Vpp мкм 20 20
Разрешение энкодера 1Vpp нм 2 2
Ток Аэф 9,4 4,7
Усилие Н 180 90
Период мм 32 32
Прямолинейность мкм 0,5
Ортогональность мкрад 12
Плоскостность мкм 0,8
Качание продольное AY / BX pitch мкрад 20
Качание горизонтальное CX / CY yaw мкрад 10
Качание боковое AX / BY roll мкрад 15
Масса нагрузки кг 15
Вес системы кг 28
Давление воздуха подшипника бар 4,5
Температура воздуха С 20
Расход воздуха л/мин 56
Чистота воздуха  – 1 мкм
Точка росы воздуха – -15 град.С **Класс отсутствия масла – 1**		 **- по ISO 8573-1 «Сжатый воздух. Классы чистоты»

Возможно изменение конструкции, перемещений и программного обеспечения по ТЗ Заказчика.

Достоинства

  • Исключительная точность и стабильность:
  • Субмикронная плоскостность и прямолинейность благодаря основанию и направляющим из гранита.
  • Нанометровая точность, повторяемость и разрешение с оптическим энкодером.
  • Программная коррекция погрешностей позиционирования по лазерному интерферометру.
  • Плавность и надежность движения:
  • Преднатянутые графитовые аэростатические подшипники с микронным зазором –отсутствие сухого трения.
  • Трехфазные безжелезные линейные синхронные двигатели с редкоземельными магнитами.
  • Прямой безредукторный безлюфтовой линейный привод без зубцового усилия.
  • Высокая точность, повторяемость и разрешение, гладкий ход на малых скоростях.
  • Компактность и производительность:
  • Ход: 270 х 240 мм,
  • Нагрузка: до 15 кг
  • Компактный дизайн, малая высота встраивания – до 110 мм.
  • Идеально для чистых помещений:
  • Беззвеньевые кабелеукладчики без продуктов износа, пригодные для чистых помещений.
  • Передовая система управления:
  • Полностью цифровой контроллер собственной разработки (цикл 100 мкс).
  • Арктангенсная 10000-кратная интерполяция сигналов энкодера с коррекцией и адаптивной фильтрацией.
  • Синусный оптический энкодер, высокая жесткость и полоса пропускания.

Пример строки заказа

Координатная система 2D-270-240-0-E: ход 280×220мм; портал X1X2Y; гранитное основание; воздушные подшипники 4,5бар; гибкие энергоцепи; безжелезные линейные двигатели; усилие XY 180 и 90Н; напряжение 48В; скорость 1,3м/с; энкодеры 1Vpp 20 мкм; с контроллером LSMC и программой CNC-Host под Windows