Планарный сервопривод - это охваченный обратной связью по положению планарный шаговый привод.
Обратная связь по положению осуществляется встроенными датчиками Холла.
Мотор автоматически устанавливается параллельно периоду нарезки статора в пределах 2-3 периодов нарезки.
Отсутствие механической передачи гарантирует высокое качество движения и долгую работоспособность.
В позиции(стоянке) мотор может совершать программируемые поворотные движения +/- 1 градус для доворота заготовки.
- Идеальная повторяемость перемещения и долговечность благодаря магнито-воздушному подшипнику
- Независимое перемещение по двум осям
- Малые габаритные размеры по высоте встраивания в оборудование
- Простое построение многокоординатной системы в одной плоскости путем наращивания числа якорей
- Возможность реализации в одной плоскости нескольких координатных систем с пересекающимися траекториями
- Сборочные операции в микроэлектронике и сборочном производстве
- LSI и VLSI сварка
- Резка/установка кристаллов
- Зондовый мониторинг.
- Поверхностный монтаж
- Элементная и блочная сборка
- Лазерные технологические комплексы
- Измерительные машины.
Продукция